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Chemtron CVD專用氫氣發(fā)生器不能啟動(dòng)故障怎么檢修?

發(fā)布者:YX    來(lái)源:上海仰光電子科技有限公司     發(fā)布時(shí)間:2023-5-11

Chemtron CVD專用氫氣發(fā)生器不能啟動(dòng)故障怎么檢修?

Chemtron CVD專用氫氣發(fā)生器不能啟動(dòng)故障怎么檢修?

1.發(fā)生器不能啟動(dòng)。

故障原因:(1)電路沒有接通;(2)氫氣開關(guān)電源損壞;(3)在壓力為0空載運(yùn)行時(shí)電解池?zé)龎摹?/span>

檢查方法:(1)檢查電路;(2)用萬(wàn)用表測(cè)量電解池的電壓是否在2.3V左右。

排除方法:(1)修理電源;(2)更換損壞的氫氣開關(guān)電源;(3)更換電解池。


2.產(chǎn)氫達(dá)不到預(yù)定的壓力。

故障原因:(1)氣路系統(tǒng)漏氣;(2)過濾器或過濾器上蓋沒有擰緊;(3)氫氣電解池反漏。

檢查方法:用檢漏液檢測(cè)各氣路連接處。

排除方法:(1)更換漏氣元件;(2)擰緊漏氣點(diǎn);(3)廠家更換電解池。


3.產(chǎn)氫超過預(yù)定的壓力。

故障原因:(1)自動(dòng)跟蹤裝置擋光板錯(cuò)位或脫落;(2)光電耦合損壞。

檢查方法:(1)目測(cè);(2)用萬(wàn)用表測(cè)量電路。

排除方法:(1)前面板上的壓力達(dá)到0.3MPa時(shí)關(guān)閉電源,把擋光板安裝在合理的位置上,打開電源開關(guān)輕輕敲緊擋光板即可;(2)更換損壞的光電耦合元件。


4.發(fā)生器能啟動(dòng),但氫氣的數(shù)顯顯示為0或黑屏。

故障原因:數(shù)字顯示表?yè)p壞。

檢查方法:用萬(wàn)用表測(cè)量電路。

排除方法:更換數(shù)字顯示表。


5.開機(jī)后,產(chǎn)氫量達(dá)不到300ml/min或需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到。

故障原因:(1)電解液失效;(2)開關(guān)沒有旋緊,有漏氣現(xiàn)象。

檢查方法:(1)觀察電解液的液面是否低于下限或電解液使用半年以上;(2)試漏。

排除方法:(1)及時(shí)添加二次蒸餾水或去離子水;?qū)⑿屡渲玫睦鋮s后電解液(母液)倒人儲(chǔ)液桶內(nèi),再加入二次蒸餾水或去離子水,水位在水位線上下限之間(氫氧化鉀溶液的濃度為l0%左右),擰上外蓋,10min后即可使用;(2)繼續(xù)旋緊開關(guān),使儀器的壓力和流量達(dá)標(biāo)。



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