ETD-900離子濺射儀濺射電流不穩(wěn)定故障的解決方法
離子濺射儀常見(jiàn)故障，分以下四種：
1、故障現(xiàn)象：使用一段時(shí)間后，濺射電流變小
解決方法：對(duì)靶材有無(wú)變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查。前兩者對(duì)靶材進(jìn)行更換，后者被油蒸汽污染，通過(guò)無(wú)水乙醇進(jìn)行清潔，等到干了以后才能夠抽真空。
2、故障現(xiàn)象：在使用一段時(shí)間以后，有著過(guò)低的真空。
解決方法：對(duì)濺射室中或管道內(nèi)是否有油進(jìn)行檢查，能夠使用汽油進(jìn)行清洗。
3、故障現(xiàn)象：濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低
解決方法：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過(guò)近的距離，將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，對(duì)間距進(jìn)行調(diào)整。
4、故障現(xiàn)象：有著過(guò)低的真空
解決方法：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。
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